1月21日消息（南山）近日，英特爾宣布向荷蘭光刻機(jī)制造商ASML預(yù)訂了一臺(tái)仍在設(shè)計(jì)中的頂級(jí)EUV光刻機(jī)，為業(yè)界首家。這臺(tái)光刻機(jī)型號(hào)為High-NA量產(chǎn)型EUV光刻機(jī)EXE:5200，是業(yè)界最強(qiáng)的光刻機(jī)。
據(jù)悉，由于臺(tái)積電、三星、英特爾三大巨頭在晶圓制造領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)，導(dǎo)致EUV光刻機(jī)需求大增。同時(shí)，這款瞄準(zhǔn)下一代3nm/2nm級(jí)別工藝的High-NA量產(chǎn)型EUV光刻機(jī)，堪稱天價(jià)。
臺(tái)灣媒體消息稱，英特爾預(yù)定的這臺(tái)光刻機(jī)，價(jià)格達(dá)到3.4億美元，是歷史上最昂貴的光刻機(jī)。
前一代設(shè)備High-NA研發(fā)型EUV光刻機(jī)EXE: 5000，也達(dá)到了3億美元一臺(tái)。
作為對(duì)比，ASML當(dāng)前商用出貨的高端EUV光刻機(jī)報(bào)價(jià)約為1.5億美元一臺(tái)。
2022年，臺(tái)積電、三星、英特爾均大幅提升資本開(kāi)支，其中臺(tái)積電資本開(kāi)支預(yù)計(jì)達(dá)到400億~440億美元。從核心設(shè)備光刻機(jī)的價(jià)格來(lái)看，不是沒(méi)有原因的。臺(tái)積電今年仍大舉采購(gòu)EUV光刻機(jī)，也已經(jīng)下單了High-NA研發(fā)型EUV光刻機(jī)EXE: 5000。
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